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采用‹Ȁ光辅助加热电解液ž®„流复合加工微小ä»?/h2>
¾~–辑   重庆初刻   发表äº?022/8/23 0:00:00

ä¸ÞZº†实现不锈钢微¾l†电解定域加工,提出‹Ȁ光掩膜表面改性微¾l†电解复合加工技术。研发了‹Ȁ光掩膜微¾l†电解复合加工装¾|®,òq¶进行样件加工试验ã€?


首先åQŒ采用光¾U¤激光在304不锈钢表面扫描加热进行打标图案,利用Xž®„线光电子能谱分æž?XPS)对不锈钢表面‹Ȁ光打标图案进行分析,发现‹Ȁ光在不锈钢表面打标时被空气氧化生成铁、铬½{‰氧化物åQŒ生成的打标图案å…ähœ‰耐腐蚀性,形成保护性掩膜。然后进行电解加工,ç”׃ºŽ掩膜图案在电解过½E‹中起到保护作用åQŒ选择合适的电解加工参数åQŒ在不锈钢表面能加工复杂的微¾l“构。最后利用SEM、光学轮廓äÈA来观‹¹‹微¾l“构形貌、粗¾p™度½{‰。研½I¶结果表æ˜?利用‹Ȁ光表面改性,¾l“合微细电解加工能实çŽ?04不锈钢微¾l“构的快速加工,该工艺在微细加工领域å…ähœ‰很好的发展前景ã€?


电解加工是以“离子”方式去除金属,在金属微¾l†加工领域有òq‰K˜”的发展前景ã€?

目前åQŒäؓ了克服电解加工的杂散腐蚀åQŒ国内外学者对微细电解加工展开òq¿泛的研½I¶。如采用¾U³秒¾U§超½H„脉冲电‹¹�微¾l†电解加工微ž®�金属零ä»Ӟ¼Œ取得较好研究成果;


通过叠加¼‚�场˜q›行微细电解加工åQŒ有利于提高加工¾_‘ֺ¦、改善表面质量和提高加工效率;利用¾U¯水˜q›行微细电解åQŒ采用阳¼›Õd­�交换膜促˜q›超¾U¯水解离åQŒ提高电解加工电‹¹�密度,在不锈钢表面加工微孔;采用光致抗蚀òq²膜åQŒ电解液正冲åQŒ在金属零äšg表面加工¾Ÿ¤凹坑结æž?提出‹Ȁ光电解复合微¾l†加å·?选用导电透明的氧化铟锡ITOçŽȝ’ƒ作äؓ电解阴极åQŒ光¾U¤激光扫描加热去除电解加工中在金属表面äñ”生的钝化薄膜åQŒ后¾l§电解,实现微细加工;PAJAK½{?


采用‹Ȁ光辅助加热电解液ž®„流复合加工微小ä»Ӟ¼Œ都取得较好加工效果ã€?